【成果简介】
MEMS 微镜是通过集成电路工艺制造的微型光电器件，在光学成像、 光纤通信、激光打印、投影显示、生物医学等领域具有广泛应用。在国 家自然科学基金项目(61368004)“基于 MEMS 微镜光谱仪的稳定性机制 研究” 、2011 国家高层次留学回国资助项目“基于 DMD 器件光谱仪—傅 立叶成像光谱仪技术”等项目的支持下，掌握了 MEMS 微镜的控制方法 并应用于光谱仪器的改造。具体开发了“一种无运动状态检测器的电磁式 MEMS 微镜的驱动电路” 、“近红外光谱仪 InGaAs 前端电路系统” ；设计 实现了“基于 MEMS 微镜的长波近红外光谱仪”的光学系统、电学系统、 内部结构与外观，设计了“一种同时采用 MEMS 平动与扭转微镜的微型 傅里叶红外光谱仪”。
【技术指标】
1.实现了对 MEMS 扫描微镜的控制，并用于光谱仪器的改造，实现 了微型化的光谱仪。光谱仪具有立特罗式分光光路；采用MEMS 扫描微 镜技术简化了光谱仪中的复杂机械结构，实现了单探测器的长波近红外 光谱仪；与阵列长波近红外探测器光谱仪相比，成本降低。
2.实现的“基于MEMS 微镜的长波近红外光谱仪”的扫描MEMS 微镜 的谐振频率 50Hz 、峰峰驱动电压 10V。
3. 实现 的微 型长 波 近红 外 光 谱仪 样 机 的 具 体指标： 波 段 范围 900-2055nm ，1000-1965nm 谱段的光谱分辨率介于 9.4-16nm 之间；尺寸
114 x 68 x 64 mm3。
【技术成熟度】
目前处于小试。作为应用实例，光谱仪样机成功对纯水以及乙醇-水 溶液的长波近红外光谱进行了测量，实现了乙醇-水溶液的浓度预测分析。样机测量的纯水长波近红外光谱与文献相符。
【应用情况】
因为掌握了MEMS 微镜的控制方法及应用路径，除了目前在光谱测 量仪器中的应用之外，相关成果还可以应用于其它光学成像、光纤通信、 激光打印、投影显示等领域，未来的应用前景广阔。
