【成果简介】
Cluster tool 生产智能调度系统是一种应用于半导体制造过程中晶圆 制造加工过程的服务系统，技术据国际先进水平。该系统具有求解速度 快以及系统鲁棒性强等优点，主要用于求解多品种晶圆加工过程中晶圆 产能比例按期望比例输出的调度方案，不仅提高的订单的交付率，保证 晶圆的良率，又实现了晶圆产能的最大化，为半导体制造产业提供了新 的解决思路。
【技术指标】
本系统水平达国际先进，适用于 3 个及以上品种同时加工，求解延 迟低至毫秒级别，根据监控周期内产能， 自适应地调整模块类型，满足 各类订单需求。
【技术成熟度】
本系统技术成熟，可在实际加工中应用，可以根据不同的订单需求， 智能求解系统的调度方案，减少系统调整时间，以达到提升订单交付率 的目的。
【应用情况】
未来可应用于中芯国际、 台积电、拓荆科技和华虹等国内大型半 导体制造企业， 已与深圳、珠海、成都多家半导体企业服务商洽谈合 作意愿。为半导体制造技术提供了新的方法，具有重大的理论与现实 意义。
