本发明公开了是用常规氧化铜粉或者电子级氧化铜粉为初始原料，经过筛分后置于阴极板的凹槽中，在碱性条件下对其进行部分电还原、然后将产物进行倾斜抖动从阴极板脱落并进行收集、烘干制得。且优选电子级氧化铜粉为原料制得的三元铜催化剂能够保持其原有的多孔结构和高比表面积，本发明提供的三元铜催化剂的制备方法，在用于催化有机硅单体合成反应中，操作方便，无需污染性还原剂和溶剂，无需高温煅烧，整个制备工艺绿色节能，适合大规模成产，同时可以提高M2选择性和Si转化率。