本发明提供了一种表面耦合诱导等离子体源的质谱电离源及相应质谱仪，包括电离源装置、质量分析装置、离子检测装置，所述电离源装置、质量分析装置、离子检测装置顺序连接。所述电离源装置包括配气系统、光纤线、光纤激光器、光纤端头、工质气体、一级泵浦源、固体进料装置、电离源生成室。本发明拥有常压高温等离子体炬，实现常压固体进样，提供精确的检测手段，取代现有质谱仪繁琐的样品消解处理过程，实现稀土元素等固体物质元素成分的高精度检测。

技术功效

本专利文本提出了一种基于表面耦合诱导等离子体的质谱检测技术，具有以下技术效果：

1. 实现高能级离子数量多、等离子体温度高、检测样品电离程度高，从而实现高精度质谱检测。

2. 具有更高的检测样品电离程度、更精确的测定检测样品离子质量，消除质量效应干扰，避免质量相近的离子间干扰，提高质谱信噪比，实现高精度质谱检测。

3. 采用固体进样方式，取代繁琐的样品消解前处理的方式进样，消除基质效应干扰，简化质谱检测程序，实现高精度质谱检测。

技术领域

[0001]本发明涉及质谱仪领域，尤其是涉及基于表面耦合诱导等离子体电离源的质谱仪。